二手 VARIAN XM 90 #9077097 待售

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VARIAN XM 90
已售出
製造商
VARIAN
模型
XM 90
ID: 9077097
晶圆大小: 8"
PVD system, 8" 4 to 8" wafer handling PC/PLC control system Turbo load lock CTI CT-8F cryo pump with compressor (3) Versamag target assemblies (3) A.E. MDX-5 DC P/S's ENI OEM-12 RF generator.
VARIAN XM 90是一种精密溅射设备,设计用于将薄膜材料沉积到次ANGSTROM级。它是一个高度通用、高效的半导体加工和计量应用薄膜制造平台。VARIAN XM90系统利用了一系列不同的溅射源,包括一个旋转的水冷目标,以及气体维持源和直流/射频源,所有这些都可以单独控制,以提供一系列沉积可能性。XM 90由一个控制器单元组成,它具有多个IO和用户界面,以确保操作方便。控制器允许用户设置目标旋转速度和腔室压力等参数,以及提供有关薄膜和基板特性的反馈。XM90还包括传感器和组件,用于监控功率、温度和分压,从而实现精确的沉积控制。VARIAN XM 90包含一个气体进排气单元,以保持清洁和无污染物的操作。它还包括一个可编程的节流机,能够保持室内恒定的压力和控制反应物气体的分布。VARIAN XM90设计在-60°C至+300°C的温度范围内运行,能够沉积具有多种特性的材料。XM 90具有多种配置,具体取决于用户所需的薄膜沉积要求。它既支持旋转和平面目标系统,也支持一系列目标材料,如金属、氧化物、菱形碳和介电。该工具还可以配置为同时实现多层沉积。总体而言,XM90是一种高度坚固和可靠的溅射资产,能够以低于ANGSTROM的精度沉积薄膜。其用途广泛、高效的设计,可实现精确的薄膜沉积,并便于操作和维护。VARIAN XM 90具有同时沉积多层材料的能力和广泛的工艺参数,是薄膜制造的有力工具。
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