二手 AMAT / APPLIED MATERIALS ATON 1600 #185058 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS ATON 1600是专门为各行业先进技术应用而设计的溅射系统。它能够根据所需的规格将薄膜沉积在诸如硅、砷化氙和玻璃等基板上。AMAT ATON 1600具有高能随机的离子束，这些离子束穿透目标材料，将其原子击落，然后成为蒸气，然后冷凝到基板上。这种被称为离子溅射技术的工艺提供了比传统溅射技术更好的均匀性和密度，能够沉积和蚀刻。该系统配有三个源阴极，每个源阴极最大可容纳1.6KW。它具有多目标溅射源，以优化腔室利用率。它的附加均匀性通过其数字平顶电子控制得到增强。它拥有强大的300 KW电源和狭窄的脉宽调制，提供了很高的工艺屈服。转化为低能离子，它能够根据不同的加工需求，用反应性气体溅射蚀刻。APPLIED MATERIALS ATON 1600还提供了36英寸的加工室。其机械设计能够提取具有强真空条件的沉积材料。这使得它能够通过提高泵送速度实现更高的沉积速率和提高工艺产量。它还具有一组标准传感器和控件，允许用户实时监控过程。一套易于使用的软件包促进了它的高级自动化。此软件套件与各种数据系统兼容,并实现了完整的流程控制。它可以主动监控和调节工艺参数，包括功率、压力、流量、温度等。总体而言,ATON 1600是为当今先进技术应用而设计的可靠且优质的溅射系统。它能够为各行业的发展生产广泛的材料，使其成为需要卓越的统一性、高工艺稳定性、提高吞吐量和工艺产量的专业人士的首选。