二手 ANATECH / TECHNICS HUMMER 8.1 #9055839 待售

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ANATECH / TECHNICS HUMMER 8.1
已售出
ID: 9055839
Metal deposition system Gun: 4" Chiller Planar magnetron sputter source: 4" diameter Power supply: 1000W.
ANATECH Hummer 8.1是一种用于将材料薄膜沉积到基板上的溅射设备。它的两个阶段的设计和特点阵列允许精确的薄膜沉积和高度的过程控制。TECHNICS悍马8.1具有一级溅射室、高真空过程室和两个低真空系统。第一级腔室包含一个用于溅射涂层的W型 SHS源。该室配有目标移动系统,用于原位目标交换和各种溅射控制选项。高真空工艺室包括一个用于压力稳定的涡轮分子泵,以及一个冷冻离子蚀刻单元和涡轮分子泵四等离子体机器。高真空室和第一级溅射室都能够在多种功率设置下运行。ANATECH/TECHNICS Hummer 8.1为用户提供了执行各种溅射过程的能力。该单元具有不同的溅射技术,如射频、直流和脉冲溅射。此外,该工具还具有一系列蚀刻工艺,如拱门、磁控管和PVD。该资产还允许用户根据自己的确切要求配置其溅射过程设置。此外,ANATECH Hummer 8.1还具有广泛的现场诊断和过程监控功能。诊断模型包括各种传感器和控制器,允许用户实时监视和控制其流程参数。悍马8.1还为用户提供一系列软件监控系统。该软件允许用户监视进程的当前状态,调查先前的进程结果,并为其溅射进程创建模式和程序。总体而言,TECHNICS悍马8.1是一种理想的溅射设备,为用户提供了将材料薄膜精确沉积到基板上的能力。其特点和精密控制的范围允许高度的过程控制。该系统能够执行各种溅射技术以及一系列现场诊断和过程监测,使其成为最先进的溅射系统之一。
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