二手 ANATECH / TECHNICS HUMMER 8.1 #9063447 待售

ANATECH HUMMER 8.1溅射设备设计用于涂层沉积和样品溅射制备应用。这个最先进的系统具有自动化的现场计量单元，允许精确的溅射控制和并发分析。TECHNICS HUMMER 8.1是一种高真空、多源溅射机，具有锁载室，能够在大基板区域上低压4 x 10-7帕斯卡和高度溅射均匀性。ANATECH/TECHNICS HUMMER 8.1的主要成分是溅射源。这是一种高电流、可旋转的等离子体源，能够沉积多种金属和合金。溅射源有两个截然不同的部分，可以精确控制溅射占空比、气流和压力以及温度。独特的设计允许对每个截面进行独立的溅射控制。这个溅射源配备了等离子体视图III面板，提供准确可靠的等离子体监测数据。ANATECH HUMMER 8.1的自动化工具由控制器模块中的分布式计算机资产驱动，为控制溅射模型的所有功能提供了一个全面而灵活的平台。自动化设备包括易于使用的模拟控制和数字读数的控制面板。它还具有一个载荷锁定系统，能够快速地将基板载入腔室和精确的溅射沉积。此外，TECHNICS HUMMER 8.1具有独特的原位计量单元，可进行精确的溅射控制和并发分析。这台机器已经配备了多种分析工具，包括残留气体分析仪、俄歇电子光谱和Ar-ion铣削。还包括两个光学端口，进一步允许在溅射过程中监测基板。ANATECH/TECHNICS HUMMER 8.1的设计考虑到安全性。它配有紧急关闭系统和水冷磁铁，以防万一。此外,这种溅射工具设计为在超高真空环境中以可靠的性能和较低的维护成本运行。总之，ANATECH HUMMER 8.1是一种先进的溅射资产，能够为各种金属和合金提供精确可靠的溅射沉积。它具有高度灵活的自动化模型、现场计量设备和安全关闭系统。其先进的设计允许精确的溅射控制、分析和均匀沉积在较大的基板上。