二手 ANATECH / TECHNICS RF-2C #9100809 待售

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ANATECH / TECHNICS RF-2C
已售出
ID: 9100809
晶圆大小: 4"
Sputtering system, 4".
ANATECH/TECHNICS RF-2C是一种用于工业制造薄膜元件的溅射系统。它提供了沉积参数的精确控制,包括材料类型、厚度、组成百分比、纹理和表面形态。其专利双频电源使用射频(RF)电源组件提供比传统溅射系统所提供的更高的精度水平。这样可以确保元件的层特性满足严格的制造公差,并适用于先进的工业应用。ANATECH RF-2C具有全自动、微处理器控制的溅射室,可在真空中运行。其独特的双切口快门保护底物免受潜在的粒子轰击,使每种材料沉积的沉积速率和均匀性得到单独的控制。TECHNICS RF-2C还包括一个高分辨率、自动化的质量流量控制器,以实现更好的过程稳定性。RF-2C具有许多安全功能,如紧急关闭系统、减压阀和安全参数实时监控。其控制器设计为在爆炸气氛中承受操作,并经认证符合1级要求。ANATECH/TECHNICS RF-2C专为易于使用和最大的灵活性而设计。其用户界面由全彩色触摸屏面板组成,便于监控。控制器软件是完全可定制的,允许用户创建过程配方和存储生产数据以供将来检索。ANATECH RF-2C还通过以太网连接和直接电子邮件警报提供远程操作。TECHNICS RF-2C能够涂覆铝、铬、硅、钛和镍等材料。它可以用来蒸发各种来源的晶体,也具有溅射蚀刻材料的能力。RF-2C的设计旨在提供一种高效、准确和可靠的方式来制造具有超精细表面处理的元件和产品。
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