二手 MAT-VAC MVT-94X #9003937 待售

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製造商
MAT-VAC
模型
MVT-94X
ID: 9003937
Sputtering system Dual level load lock CTI-8 cryo pump Simultaneous processing of 12" x 12" pallets DC Magnetron, RF Magnetron and RF diode sputtering capabilities 24 V DC components Single and bi-directional substrate scanning modes Vacuum gauging controls: Granville Philips 307 and Digivac Proteus interlock water flow switches 208 V, 100 A, 60 Hz Includes: MAT-VAC modular electro-pneumatic valve bank Hydraulic pump/motor and all lines (2) Electro-pneumatic gate valves for process chamber and load lock with position sensing.
MAT-VAC MVT-94X是为顶级工业级沉积应用而设计的最先进的溅射设备。该系统结合了非凡的灵活性和性能以及用户友好的图形界面。该单元具有丰富的功能,使用户能够快速准确地高效地完成沉积过程。MVT-94X具有两个独立的磁控管,可以通过图形用户界面进行调整。每个磁控管都可以以不同的功率级别操作,允许用户定制自己的溅射过程。此外,一个包含两个独立热蒸发源的法拉第笼子也配备了机器,增强了其溅射能力。该工具还配备了高度先进的自动化过程控制资产。该模型不断监测溅射过程的所有参数并进行相应调整,使用户能够在整个沉积周期内保持一致的性能。这种自动化的过程控制功能大大减少了人为错误,并大大提高了设备性能。溅射系统还设计了多项创新的安全功能。可以使用卤化装置来保护使用者免受溅射过程中可能释放的有害颗粒或蒸气的伤害。此外,集成的锁定机器可防止未经授权的人员访问该工具。MAT-VAC MVT-94X是一项令人印象深刻的资产,它结合了先进的技术和多功能性,是高容量工业级溅射应用的理想选择。该模型强大的一套功能使用户能够自定义和优化溅射过程。此外,设备的自动化过程控制系统和haloplex单元确保用户安全和机器性能。
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