二手 VARIAN 3180 #9018131 待售

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VARIAN 3180
已售出
製造商
VARIAN
模型
3180
ID: 9018131
晶圆大小: 4"
Sputtering systems, 4" Parts machine.
VARIAN 3180溅射设备是一种高效的仪器,用于在基板上创建层薄膜。该系统的工作原理是轰击一种由分子组成的化合物,这些分子具有高能粒子束,通常是原子或离子。当这些颗粒撞击目标时,物质被溅出并沉积在基板上。这种工艺常用于半导体制造、光学涂层的沉积以及多种其他应用。3180是闭环、3头强力、RF二极管溅射单元。它的设计具有许多有益的特性,这些特性共同实现了高效的薄膜沉积。该机适用于有机膜和无机膜,具有三个独立的沉积头。这三个头可以旋转或平行沉积,以确保所得薄膜的均匀性。功率、压力和电压的水平都可以在沉积室中进行调节,使过程最大化。VARIAN 3180工具还提供了增强的过程控制,能够提供精确的射频密封以及气体和压力控制。此外,资产还利用了复杂的自动化模型,该模型具有一系列菜单驱动的操作设备功能,如清洁、充电点和多步骤配方控制。系统的设计还有助于确保更长的目标寿命,使用户可以更好地控制其生产成本。3180的腔室有一种特殊的防溅射涂层,有助于防止灰尘进入沉积环境,从而保持目标材料的质量。在安全性方面,VARIAN 3180包含了一系列的安全特性。该单元的组件设计有防火防尘罩、电气防护连接和独特的"辅助模式",可防止过流。该机器还具有全面的电气和环境安全系统,旨在检测任何故障或潜在问题。总之,3180溅射工具是一种可靠有力的仪器,适用于许多薄膜沉积应用。它提供了许多有益的功能,支持高效的处理、准确的控制和增强的安全性。该模型具有集成的自动化资产、防尘盖和全面的安全系统,旨在通过降低成本和能耗来支持良好的生产成果。
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