二手 STRASBAUGH 6DE-1 #135707 待售

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ID: 135707
晶圆大小: 12"
优质的: 1982
Overarm polishing machine, 12" Wafer polishing single table: (3)x2", (3)x3", 4", 5" Multiple small wax-blocked wafer R&D Polishing Stainless steel precision, 12" Lapped flat CMP platen (Pad process table) Mounted with adaptor hub 1982 vintage.
STRASBAUGH 6DE-1是为研磨、研磨和抛光(GL&P)应用而设计的多功能工艺设备。该系统适用于生产和研发实验室,能够处理从4英寸或100毫米到6英寸或150毫米的各种基板。6DE-1单元还增加了可互换的模块化底座和卡盘,以便为一系列GL&P过程安装额外的附件。机器还可以与计算机进行实时过程控制、连续监控和数据收集。STRASBAUGH 6DE-1有四个用于晶圆运动的驱动电动机:一个用于抛光的直流无刷扭矩电动机,一个用于晶圆自动运动的无刷线性伺服,一个用于调整晶圆位置的双轴定向电动机,以及一个用于研磨的强大交流电动机。该工具还具有气动卡盘、可调节的研磨板和可选的下压力控制。6DE-1还配备了多种标准配件以及定制配件,这些配件允许流程变化和更大的灵活性。这些配件包括支架、垫片、板材、水射流和模具元件。此资产易于操作和维护。由于用户友好的界面、较低的运营电力成本和最小的清洁需要,运营成本得以最小化。它还具有经济上的优势,因为它包括了额外的附件,如板材,气动卡盘,和下压力控制。STRASBAUGH 6DE-1功能多样,拥有成本低,非常适合各种生产和研发用途。它可以帮助提高产量、过程可重复性、成本控制和环境合规性。它的模块化模型和可定制的平台使它能够满足客户的需求。这种设备速度快、效果好,其用于抛光的直流无刷扭矩电动机即使是最困难的材料也能产生平坦、光滑的表面。最后,其强大的交流电动机优化研磨操作,并确保一致的表面光洁度.通过6DE-1,用户可以在不牺牲质量的情况下实现吞吐量的提高。
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