二手 ADE / KLA / TENCOR 350 / 351 #9027395 待售

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ADE / KLA / TENCOR 350 / 351
已售出
ID: 9027395
Wafer inspection / transfer robot for 9300 / 9600.
ADE/KLA/TENCOR 350/351是为晶圆测试和计量应用而设计的晶圆测试和计量设备。它用于测量晶片的各种物理特征,如边缘、掺杂水平、晶体结构、表面平坦度和厚度。该系统旨在为分析多种类型的晶片提供快速和准确的结果,这些晶片包括:翻转芯片封装、MEMS、SOI、LED芯片和GaAs。ADE 350/351的关键特性和能力包括扫描电子显微镜(SEM)、聚焦离子束(FIB)成像、热ATR光谱等。它配有高分辨率成像系统,可对微观部件和结构进行详细观察。SEM成像装置的放大倍数为10倍至200000X倍,而高分辨率的FIB光学元件则可视化各种材料的精细结构和特征。热ATR光谱法是一种高敏锐度技术,用于通过收集加热样品的排放物来测量掺杂物水平。KLA 350/351还提供先进的自动化软件解决方桉,用于晶圆的详细分析和测量。它配备了各种用于晶圆检测和计量的多维分析算法。这些算法可以测量特征大小、3 D曲面形态、边缘集中度、高度分布等参数的数组。此外,该软件还提供了比较多个数据集以分析和检测晶圆中任何可能的缺陷和异常的能力。该机器能够测量多种特性,精度为0.6纳米。它具有很高的效率,吞吐量速度为每小时5个晶圆。此外,它的设计目的是在无噪音的环境中确保数据的准确性。在坚固的构造和重型构造下,无需任何附加保护即可在生产环境中部署。此外,它还为可靠的晶圆数据收集提供了一系列的完整性和可靠性功能。总之,350/351是晶圆测试和计量应用的理想选择。其设计目的是为各类晶圆材料提供高精度的结果。它配备了复杂的软件和多维分析算法,使其成为寻找晶圆结构和组成异常的理想选择。它保证了每小时5个晶片的吞吐量,并保证了晶片的完整性及其坚固且无噪音的环境。
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