二手 ADE / KLA / TENCOR 9600 #9095972 待售

ADE/KLA/TENCOR 9600设备是一种晶片测试和计量系统，利用先进的成像能力和晶片级计量来精确测量、分析和表征晶片及其组件。利用高分辨率扫描成像技术，该单元可提供高精度、高精度的结果。对于机器的测试部分，一种专利光学扫描技术叫做缺陷检查和大小（DIS）扫描整个晶片表面以寻找缺陷。这些缺陷可以使用图像识别算法进行自动测量、分类和分析。通过使用单独的颜色通道以及广角和窄角光学器件，该工具能够准确识别残留物、颗粒和裂纹等多种缺陷并对其进行尺寸调整。资产的计量部分能够提供晶圆结构的精确尺寸。高分辨率光学模型与快速晶圆级自动对准设备结合，以亚微米精度提供详细测量。系统可测量步高、厚度、接触面积等广泛参数。此外,该单元还能够捕获高分辨率的表面图像以进行地形分析。ADE 9600机器具有用户友好的界面,可轻松设置和控制参数。它旨在帮助用户快速识别和纠正晶圆表面的缺陷,从而提高产量并改进制造工艺。利用自动通过/故障检查功能和自动数据分析,该工具能够提供详细的晶圆测试和计量结果,而这只是手动方法所需时间的一小部分。