二手 ADE / KLA / TENCOR UltraScan 9600 #9105667 待售

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ADE / KLA / TENCOR UltraScan 9600
已售出
ID: 9105667
Wafer metrology system E Plus station Hi/Lo Res stations (5) Cassette elevator stations ACS Computer Optional non contact typing.
ADE/KLA/TENCOR UltraScan 9600是一款功能强大、用途广泛的闭环无损晶片测试计量设备,提供平板显示器和半导体晶片的详细表面分析。该系统具有高分辨率光学显微镜、两个激光散射仪、一个边缘照明单元、一个非接触式三维探针以及先进的数据采集、分析和处理能力。ADE UltraScan 9600使用先进的光学和照明技术提供优越的晶圆表面成像,如边缘隔离、特征检测和详细的表面测量。激光散射仪可以测量和显示前后向散射信息,从而能够对表面地形、蚀刻深度和线宽进行高速、无损测量和分析。自动调整焦点的边缘照明机提供了更高的对比度和改进的表面识别。非接触式、三维探针用于测量和显示晶圆厚度和曲率、表面粗糙度以及其他地形参数。该探测器还收集实时信息,以帮助评估过程的可变性。KLA ULTRA SCAN 9600高度自动化,可提供快速、可重复的晶圆测试和计量,并提高刀具分辨率和数据采集速度。每个晶圆最多可存储2000组数据,从而可以进行详尽的表面分析和故障排除。此外,该资产与各种数据存储选项兼容,并且可以与其他ADE系统集成,以实现无缝端到端晶圆测试和计量解决方桉。ADE ULTRA SCAN 9600是一种用于平板显示器和半导体晶片的可靠高效晶片测试和计量模型,能够进行详细的表面分析和快速的工艺优化。
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