二手 BROOKS / PRI AUTOMATION Ergo #128314 待售

ID: 128314
晶圆大小: 8"
Loadports, 8", p/n 002-8700-02.
BROOKS/PRI AUTOMATION ERGO晶片处理器是一种最先进的半自动晶片处理解决方桉,设计用于半导体製造设施。它是一种完全可编程的机器人设备,能够执行各种晶片处理操作,如运输、预对准以及将晶片装卸到加工设备上。BROOKS Ergo旨在提供高精度,同时仍能实现有效的周期时间。该系统配备了一系列可调元件,可根据客户的具体要求进行配置,可容纳直径达300毫米的晶片。PRI AUTOMATION ERGO晶圆处理器利用坚固可靠的伺服控制机械臂,由BROOKS高级运动控制器提供动力。机器人的运动由集成视觉单元监控,机器的可编程传感器跟踪机器人的方向和精确定位。Ergo晶圆处理程序旨在最大程度地减少错误的拾取和拒绝,与手动加载/卸载相比,它提供了更高的精度级别。该工具还采用圆滑的设计,便于清洁和维护,而占地面积小,即使在空间最有限的环境中也能安装。BROOKS/PRI AUTOMATION ERGO晶圆处理程序的设计提供了最大的准确性和可靠性。其运动控制器能够在循环过程中持续保持较高的准确度,保证可重复性能的更高可预测性。该资产配备了高级编程和自动化功能,使其能够处理各种晶圆处理方桉,而其强大可靠的动力总成有助于最大限度地减少整个生命周期中的停机时间。此外,BROOKS Ergo晶圆处理程序为操作员提供了增强的安全功能。其两级安全监测模型旨在检测潜在问题和警报操作员,而其铰链晶片卡盘和坚固的馈线臂旨在减轻潜在的伤害。PRI AUTOMATION ERGO晶圆处理程序包括多种通信协议,可轻松集成到现有的流程中,而其模块化设计允许将来进行升级和自定义。Ergo晶圆处理器是满足您的半导体生产需求的完美解决方桉。凭借其无与伦比的精确度、可靠性和安全性组合,您一定能最大限度地提高生产流程的产量。
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