二手 AIRTECH CD3052537 #9138325 待售

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AIRTECH CD3052537
已售出
ID: 9138325
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AIRTECH CD3052537是一种晶圆和掩模洗涤器,旨在为晶圆和光掩模的制造提供清洁解决方桉。它是一种工业级洗涤器,用于清洁晶片、掩模和其他用于创建集成电路的组件。这款洗涤器与单面、双面、三面洗涤器兼容。CD3052537设备有一个32英寸的洗涤头和一个3轴数控机构,能够精确控制洗涤和清洁。洗涤器配备了主动微型喷射清洁系统,在极低的压力下运行,允许温和、无残留的清洁。微喷射喷雾装置在30-70°C的温度下使用DI水,为各种晶圆/掩模应用提供了一系列清洁选项。可调节的喷嘴可确保精度和均匀性,同时将基板变形保持在最低限度。AIRTECH CD3052537还包括一台先进的3轴机器人剥皮机,用于从晶圆/掩模表面去除光刻胶和其他材料。剥离工具工作面积大、速度快,保证了高效、清洁的操作。此外,集成了带有自锁螺钉的重型底盘,可实现快速轻松的安装。洗涤器本身防尘、耐腐蚀,提高了可靠性。洗涤器还设有全面的车载触摸屏控制资产,提供脉冲宽度、速度、曝光时间、距离等可调清洁参数。该模型还包括用于在线检查和检测光学特性以及晶圆/掩模清洁均匀性的三向色度计。这样可以快速响应条件的变化,确保一致、可重复的结果。综上所述,CD3052537晶片和掩模洗涤器是一种可靠、高效的晶片/掩模洗涤器。凭借其可调微喷射清洗设备、3轴机器人剥离、集成触摸屏控制系统,这款洗涤器确保了精确、无残留的清洁,具有很高的重复性。
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