二手 ASM WS 896 #9134186 待售

ASM WS 896是为经济高效的生产而设计的最先进的晶圆步进器。该机采用了具有良好特征控制的弧形场照明设备，能够以高精度生产微结构。该系统具有卓越的整体设计,快速高效,支持广泛的应用程序。ASM WS896晶片步进器具有现场板设计和六脚架多轴运动单元,可实现高精度的对准灵活性和卓越的吞吐率。六脚架允许每个晶片独立移动，并提供最大的稳定性和吞吐量。另外,步进器可以执行多种功能,如引导、定位和晶圆扫描。该机还具有高等级的光学布置，配有远心透镜工具，用于晶圆级图像的设计和优化。这种光学资产确保图样被精确地投射到晶圆上，而狭缝径向场有助于提高模型的性能和精度。此外,设备还支持复杂的曝光校正功能,可减少焦点和阵列错误并提高流程吞吐量。该系统还提供了广泛的工艺和图像控制功能，确保了高质量微结构的可靠生产。这些功能包括自动焦点中断检测、高级边缘放置精度、群集放置控制和自动边缘检测对齐。此外，该单元还采用了多步补偿器和自动模具旋转，确保了微观结构的精确放置。总之，WS 896是为经济高效的生产而设计的最先进的晶圆步进器。该机具有卓越的设计、高品位的光学元件以及一系列的性能和控制特性,速度快、效率高,确保了高精度的微观结构的可靠生产。