二手 ASM WS 896 #9170395 待售

ASM WS 896是为生产或研究用途而设计的晶圆步进器。它是一个完全集成的设备，结合了最先进的光学、运动控制、计算机控制和支持系统，用于各种半导体光刻应用。光学和照明是ASM的核心WS896它是一种最先进的投影光学系统,其数值孔径（NA）为0.45,可在整个晶圆区域提供高分辨率和均匀的图像。照明是通过LED阵列和光学元件提供的,配置为在晶片上均匀曝光。运动控制WS 896具有全方位的运动控制选项，包括：晶圆的步进和扫描；晶圆堆迭能力，允许多次曝光而无需重新定位；晶圆漂移稳定，提高精度；以及其他增强功能,例如基于列的伺服控制和无摩擦XYZ阶段。有了这些先进的运动控制选项，WS896就能准确高效地暴露出小批量生产中的晶片以及大型研究项目。Computer Control ASM WS 896与业界最先进的计算机控制系统完全集成，允许简单高效的编程和设置。计算机控制单元运行着广泛的软件包，从简单的制作指令到高级曝光配方。它还可以运行CAD和CAM程序,与数字光刻软件集成,以实现简化的设计和生产效率。支持系统ASM WS896还具有多种支持系统,包括一台全面的手动和自动晶圆测试机器。这一支持工具包括：接触监测功能，以监测每次接触的完整性；验证功能以确保曝光的准确性；以及保持光学设备清洁和无尘的清洁资产。总之，WS 896是一种非常先进、完全集成的晶圆步进模型，非常适合生产和研究使用。凭借其最先进的光学和运动控制、先进的计算机控制系统以及全面的支持系统,WS896为任何半导体光刻应用提供了可靠而高效的解决方桉。