二手 ASM WS 896 #9060206 待售

ASM WS 896是一种高端晶片步进器，专为低批量和大批量生产半导体晶片的制造商而设计。ASM WS896能够将晶片的直径提高到8英寸,并且可以在单个工艺周期内容纳多达600个晶片。它采用了最先进的光学和电机技术,可实现同类步进器中最高的曝光精度。WS 896配备了两个基于高精度检流计的扫描级，由一个专用的多处理器设备控制。这提供了对整个晶片的扫描操作的并行处理,从而在最大晶片吞吐量速度下实现一致的结果。检流计设计为提供高精度的扫描性能和稳定性，而多处理器系统则提升了单元的响应性和准确性。步进器还配备了创新的自动聚焦机构，允许晶片和光学器件之间精确对准。它的低放大倍率光学也有助于保持高精度，即使晶圆包含不同厚度的特征。步进器还配有一个集成的空气轴承级机器，确保快速和准确的步进和重复性能，最小的漂移。除了光学和电机外，WS896还配备了先进的运动控制工具，可以精确控制光学和扫描阶段的运动。其超低延迟和最小波纹特性使其成为高速运行的理想选择。最后，步进器配备了自动跟踪和校正能力，确保了最高的精度和可重复性。总体而言，ASM WS 896是大批量生产半导体晶片的理想晶片步进器。其高精度的光学、电机和运动控制系统使其成为在高速和通路下实现准确和可重复结果的理想选择。