二手 ASM WS 896 #9176106 待售

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ASM WS 896
已售出
製造商
ASM
模型
WS 896
ID: 9176106
优质的: 2007
Manual scanners 2007 vintage.
ASM WS 896是一种光学步进器,允许为光刻目的精确定位晶片。它具有290mm的扫描面积和最高均匀度的高缝合精度和速度,以及内置视觉系统和自动晶片装卸。这使得它非常适合半导体制造工艺的发展。ASM WS896使用直驱式电动直线轴系统和稳定照明装置,在以10,000毫米/秒的最大扫描速度运行时,能够保持卓越的精度和稳定性。其抗振设计具有3 µm ±的优越定位重复性,非常适合浅层沟槽隔离和双图案处理。WS 896具有内置视觉系统和自动晶片加载/卸载功能,可确保更大的吞吐量。舞台上的自动模式识别支持单模式和双模式操作的灵活对齐。电动变焦镜头可将放大倍数从6倍调整到60倍,以获得最佳分辨率和对焦效果。此外,WS896还支持各种曝光工具,从一般的UV到DUV。由于具有众多的曝光选项和高度的灵活性,应用程序包括用于大格式的光刻和蚀刻,以及简单的蒙版和对齐层。ASM WS 896扫描直径从4英寸到12英寸不等的一系列晶片,并且可以在单个系统中支持多达8层晶片。最后,它极低的故障率使得它非常适合可靠的长期操作。
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