二手 ASML 300 #9047521 待售
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ID: 9047521
DUV Stepper, 6"
Lens under N2 purge
Front end
Options:
SECS
REFL Image sensor
Arms
Pep 1 / Pep 2: Productivity upgrade
Reticle error compensation
Flatness model
LSQ Disto model
Mark sensor
Batch streaming
(2) Intensities
Focus monitoring
Aerial
IRIS
Flexible signal tower
Extended NA range
Focal adjustment
Extended exposure
TIS
Athena
Fast TTL alignment
Automated DOE exchanger
Phase modulator FTTL
Phase modulator OA
Alignment reports
Annular illumination
Athena allow high orders
Scribelane marks
(3) Library configurations
Visual alignment camera
1998 vintage.
ASML 300是用于制造半导体产品的晶圆步进器。它是一种光刻工具，能够精确控制用于在芯片上创建晶体管和其他组件的图样。300是双级柱扫描仪，表示晶圆在曝光时在x和y轴中移动。该级由高速直流电动机驱动，能够以纳米级精度和可重复性控制级。扫描仪还包含几个光学元件，如光学元件、透镜和分束器，用于成形和成形光，以便投射到晶圆上。设备高度集成和灵活，允许操纵和控制光和基板。ASML 300是一个快速发展的系统,采用最新的曝光技术.它包含运动控制器、电机驱动器、微秒脉冲发生器和智能视觉单元等先进功能,可通过自校准技术分析曝光情况。该机器还利用各种探测器来确保精度，包括线缘检测工具、用于区域检查的显微镜和用于详细表面评估的在线视觉检查资产。300在光刻领域设定了准确性和可重复性的行业标准。凭借其双级扫描机构、纳米级精度和自动自校准模型，这种晶片步进器是生产高性能晶体管等组件的可靠高效方式，用于最新的微芯片。它是现代半导体制造的理想选择。
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