二手 ASML AT 1150iS Twinscan #9197839 待售

ASML AT 1150iS Twinscan是一种晶圆步进器,为各种单模和多模应用提供全面的光刻处理。它旨在满足半导体制造行业最苛刻的要求,提供最高的精度和准确性,同时最大限度地降低总拥有成本。步进器具有两镜光路，最大分辨率可达12微米。这有助于确保可重复的过程结果和一致的产量,并提高每小时多达180个晶圆的吞吐量。AT 1150iS专为高端光刻要求而设计,曝光水平低于每秒12纳焦耳。此外，它还具有高达52 x 80毫米的扩展场大小，允许处理范围广泛的晶圆大小。AT 1150iS配备了集成的舞台和步进运动控制器，在广泛的工作条件下提供卓越的精度和精确度。嵌入式控制软件可以根据应用的需要进行定制，提供灵活的自适应操作。步进器还提供了真空泵和传感器的集成系统，以确保准确和可重复处理的适当环境。此外,AT 1150iS Twinscan还采用了ASML专利RealScan™技术,被授予"最佳频谱",以表彰其卓越的业绩。它采用主动光束校正和光束定心的能力，这对于卓越的分辨率和可重复的结果是必不可少的。为了确保最大正常运行时间,ASML AT 1150iS Twinscan提供了一系列高级功能,旨在在异常影响生产之前检测和解决异常。使用嵌入式粒子监视器显示出对细节的注意,以便立即检测故障,并使用HealScan监视来确保对准的准确性。总体而言,AT 1150iS Twinscan是要求苛刻的光刻应用的理想解决方桉,可提供最快的速度和准确性,以最大限度地提高效率和产量。ASML AT 1150iS Twinscan的用户凭借其灵活的功能和强大的操作能力,能够有信心获得卓越的工艺性能和效果。