二手 ASML AT-850 #9193537 待售

ASML AT-850是一种高精度晶圆步进器，用于半导体器件制造过程的各个阶段。它旨在提供一个全面的平台,允许精确的阵列和产品上的测试。ASML AT 850设备利用先进技术的组合，包括光刻、标线定位、基板对准、加热和冷却以及舞台运动，在半导体基板上创建高度复杂的结构。步进器基于硅的光刻系统能够获得令人印象深刻的5nm分辨率，允许复制复杂的电路模式。该设备能够在一个对齐标记中精确地在四个标线上显示和成像图样,这使其成为大批量生产的绝佳选择。步进机的舞台运动机具有先进的电机,定位分辨率为2.5nm,使设备能够在曝光前将基板精确定位在标线下方。采用电热执行器来确保基板温度在曝光过程中均匀稳定。这种热稳定有助于将温度引起的晶片步进器性能变化所造成的误差降至最低。反射式标线定位工具保持标线的精确方向，从而提供照明图像在基板上的精确投影。步进器还配备了模式对齐资产，确保舞台位置始终与标线精确对齐。最后，加热器和冷却系统是晶圆步进器中必不可少的部件。采用高精度加热模型控制基板在制造过程中的温度，冷却设备在暴露过程后迅速将基板带到可接受的温度。总体而言,AT-850是一种先进的晶圆步进器,具有出色的精确度和高容量生产能力。其精确的标线定位、衬底对准、热管理和舞台运动的结合，使其成为在半导体材料上创建高度复杂结构的绝佳选择。