二手 ASML AT-850 #9198430 待售

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ASML AT-850
已售出
製造商
ASML
模型
AT-850
ID: 9198430
优质的: 2004
ARF Scanner Currently warehoused 2004 vintage.
ASML AT-850晶片步进器是一种自动化的计算机控制晶片加工机,用于半导体制造过程。它的工作原理是用紫外线激光扫描光掩模,然后将图样传输到晶圆上。该设备配备了两个不同的曝光源和全场抖动扫描策略,用于高分辨率图样。这样可以实现精确的形状、线宽和距离控制,并实现高吞吐量。该设备配备了两个光刻源,即i-Line和ArF准分子激光器,可分别用于绘制135海里和193海里的特征图样。这两种激光器均受波长和相干性控制,这意味着它们可以精确地绘制高分辨率复杂形状的图案。该系统还具有多种算法,可根据作业要求使用,优化吞吐量和流程窗口。晶圆通过一个机器人处理单元和SCARA机器人被运送到掩模对准器,这两者都是高度精确和可编程的。舞台可以被编程来处理一系列晶圆,大小从200到400毫米不等。晶片一旦到位,就可以精确地倾斜到掩模上,掩模有一个可以调整的视场,以符合工作要求。晶圆步进器还配备了多种探测器,用于监控和控制曝光过程。这包括干涉仪、用于测量图样晶片轮廓的检测器,以及可以高倍扫描整个晶片的扫描电子显微镜。这样可以确保模式具有最高的质量和保真度。任何在平版印刷过程中需要改变的参数,都可以使用车载控制器,即工业级自动化PC进行精确快速的调整。这允许用户轻松编程或修改曝光设置和曝光时间。最后,ASML AT 850晶圆步进器也是高能效的,降低了过程对环境的影响。有些型号还内置了能量回收机,这有助于回收原本在暴露过程中损失的能量。
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