二手 ASML AT-850D #9197016 待售

ASML AT-850D晶片步进器是用于集成半导体电路制造过程中的一种高度精确的光学对准设备。它配备了5轴同时定位系统，能够纳米精确对准。其尺寸为：19.7英尺（6m），宽度：9.3英尺（2.8m），高度：9.7英尺（3m）。ASML AT850D是一个高度先进的单元,它为晶圆对齐提供了卓越的功能。它具有高度灵敏的线性编码器，精确的编码器刻度精度为± 1nm，保证了极好的精度和可重复性。这些进步允许进行毫秒的舞台运动。该机的交钥匙控制工具可以全面防止外部振动造成的变形。AT 850D设计有一个自动检查资产，可以检测，分析和保持精确的晶圆对齐。它总共有一个6头对准模型，每个模型都能够检测给定晶圆上多达25个标记。该设备由一个强大的过程控制系统控制，该系统由多个伺服和运动控制模块以及先进的软件组成。晶片步进器可以容纳广泛的对准步骤，并包括一个智能晶片索引单元，允许每次曝光多个晶片对准。全功能机器处理几乎任何对齐模式具有很高的精确度。它使用复杂的计算和图像处理算法以及先进的光学器件来确保精确的晶圆定位。该机还配备了先进的高精度晶圆对准显微镜。该显微镜为客户提供了晶圆粘结区的优越视野。它可以在5微米误差范围内提供高达8 μ m的精度，并且可以解决1纳米尺寸的特征。该工具采用高度优化的光学资产设计,可提供低失真光学。此外，特殊的照明模型产生了均匀的高强度光源，消除了热点，减少了电路失真。总体而言,ASML AT 850D晶片步进器是一种高度精确的设备,具有广泛的功能,旨在为晶片制造提供卓越的精度。它配备了最新的技术，以确保在制造过程中晶片完美对准的最大精度和可重复性。