二手 ASML PAS 5500 / 300B #9193539 待售

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ASML PAS 5500 / 300B
已售出
ID: 9193539
DUV Scanner 248 nm.
ASML PAS 5500/ 300B是一种高性能、高级且功能强大的自动晶圆步进器。它在半导体晶圆加工方面具有卓越的性能和精度。它是一种利用先进工艺技术在硅晶片上定位和成像模式以获得最佳模具产量的工具。PAS 5500/ 300B晶片步进器在X-Y表上运行,这允许基板相对于成像系统精确定位。步进器使用极紫外光刻(EUVL)将图样暴露在光掩模上,然后使用步进器的光刻系统转移到硅片上。步进器的精确度和精确度是半导体制造商的一大资产,使得提高产量和降低制造成本成为可能。ASML PAS 5500/ 300B具有使用非常小的功能大小的能力,曝光能力可降至0.1 μ m。这使得它适合在现代纳米电子器件上曝光非常细微的特性。步进器在高速扫描系统上运行,可以高精度地重复涂层和成像过程。PAS 5500/ 300B还具有出色的成像功能,例如能够捕获微观图像并将其放大几倍。它能够产生分辨率约为0.2微米的图像,这比市场上大多数其他解决方桉都要高。此外,步进器的模块旨在减少触摸时间,确保更快的吞吐量,并使制造商能够节省时间。ASML PAS 5500/ 300B具有一系列其他特性和功能,使其成为高效的自动化晶圆步进器。它利用对齐、图像质量和分辨率方面的最新技术,使其成为将图样暴露在晶片上的强大而可靠的工具。此外,步进器设计为用户友好,具有直观的控制系统和强大的图形用户界面。总体而言,PAS 5500/ 300B是一种功能强大且高效的自动晶圆步进器。它的X-Y表可确保晶片的精确对准和放置,而其EUVL功能可确保高分辨率成像和精确曝光。此外,其直观的控件和精巧的图形使其成为半导体制造商极为用户友好的工具。
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