二手 ASML PAS 5500 #9196425 待售

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ASML PAS 5500
已售出
製造商
ASML
模型
PAS 5500
ID: 9196425
Steppers.
ASML PAS 5500是一种晶圆步进器,旨在支持光刻过程中的高级层、标线和掩码。这台机器能够对功能层进行维修和校正,从而显着改善晶圆性能。PAS 5500的最大分辨率为4 nm,最大扫描面积为463 mm x 513mm。它还具有降低的振动水平和增强的曝光可重复性,这意味着层可以在多个晶片上均匀曝光。ASML PAS 5500还能够精确对准,可重复性为1 nm。该机的设计还以安全为重点,具有几个安全特性,如其气锁室、激光互锁、安全门等。这确保了技术人员和操作员在操作过程中的最小接触。它的可编程PAS 5500控制系统旨在最大限度地减少设置时间、控制曝光级别并减少错误,从而使用户获得一致的性能。ASML PAS 5500还配备了强大的冷却功能、高效的物料输送、出色的光束轮廓以及快速的关闭系统,以最大限度地提高操作性能。这种优化的操作还为客户提供了出色的模式保真度。它能够利用各种光源,其最大晶圆温度导致失真减少。为确保其使用寿命,PAS 5500配备了坚固的机械框架和金属激光焊接盖,以提高可靠性。ASML PAS 5500具有7.5 kW的功率要求,可在不牺牲性能的情况下支持大型多晶圆曝光。总的来说,PAS 5500是一个可靠和强大的晶圆步进设计精密光刻.与其他常规系统相比,它旨在最大限度地提高精度、缩短周期时间并提供更好的结果。
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