二手 CANON FPA 2000 i1 #100914 待售

CANON FPA 2000 i1是一种高精度、光学、高端的晶圆步进器。用于生产复杂半导体结构或集成电路（IC）。它是一种工业标准设备，能够以纳米精度提供极其精确的图桉和结构。该系统配备了一个i线投影和405nm μ-ROC（反射模式离轴）光源。这种组合由于其波长能够有效地传输和反射光，提供了极好的精度和较小的光斑尺寸。该平台还配备了一个高度敏感的三摄像头自动对准和控制单元。此功能用于精确对齐和控制各种设备几何形状和配置,从而实现精确的阵列和掩蔽。步进器的高精度级机使操作员能够精确地调整和定位一个设备进行精确的图样。这是借助精确、全方位的运动控制器实现的，这些控制器为每一次调整提供了速度和精度。NPF（Numerical Proximity Focus）功能允许用户快速对准和聚焦设备，进一步提高精度和吞吐量。CANON FPA2000-I1还采用了复杂的曝光和抵抗控制方桉。此方桉结合了不同的曝光技术,如脉宽调制（PWM）、背面曝光和长期曝光,以确保精确的阵列处理结果。该工具还支持完整的数字化原型设计环境,从而实现快速的设计模拟和优化。此资产非常适合要求高度精确、公差紧密且表面精度极佳的阵列的应用。FPA-2000I1提供了一个高分辨率的检查器板光学模型，使操作员能够检查设备模式的准确性和缺陷。它还具有四点图像测量设备，可以自动检测短路、桥接、错位等关键缺陷。该系统还提供了广泛的性能监测工具，包括诊断和性能优化工具。CANON FPA 2000 I 1晶片步进器是一个强大、高精度的生产平台，能够提供精确的模式，具有纳米精度和可靠性。它结合了高度精确的运动控制器、光学和抵抗控制以及性能监控工具,使其成为任务关键型应用的理想平台。