二手 CANON FPA 5000 ES3 #100787 待售

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ID: 100787
Stepper, 8" KrF Scanner No laser SMIF (Reticle) Interfaced with TEL Act 8 Reticle size: 6" Mainframe: Operation Controller Main body Back chamber RASCO BCU-900 Temperature control unit Power: 200 V, 3 ø, 40 A CYMER ELS6300 Laser unit Power: 208 V, 50/60 Hz, 60 A ULPA filter I/F Module Tool box 2001 vintage.
CANON FPA 5000 ES3 Wafer Stepper是一种突破性的半导体光刻机,专为集成电路中使用的晶片和元件的批量生产而设计。步进器具有很高的精确度,允许在晶圆表面进行精确和高分辨率的成像。步进器配备了尖端的曝光控制设备(ECS),可提供高水平的过度曝光和曝光不足保护,并保持直观的控制水平。该系统简化了操作,减少了用户的培训时间,加快了晶圆绑定集成电路的上市时间。步进器还配备了高功率照明单元。其升级后的光学技术具有前后两种透镜,能够更好地将光强度分布到目标表面上。这有助于减少缺陷并实现更高的形状精度。CANON FPA 5000ES3由6,000 W功率输出的激光器供电,每小时最多可成像2300个芯片。步进器还具有精确读取模具位置的高精度自动识别机,为机器提供了自动调整光学刀具以保持最佳曝光所需的精确信息。此外,步进器还为各种材料(如8英寸、12英寸和300毫米尺寸的晶片)提供了坚固耐用的框架和卓越的伺服控制。FPA-5000 ES3 Wafer Stepper还提供卓越的图像精度和高分辨率成像功能,远远超过竞争对手,从而提高了产量并提高了生产效率。该资产易于操作,尽管有多种操作和大量使用,但仍能提供安全、可靠的操作和准确性。FPA 5000ES3晶片步进器是寻求具有卓越精度和分辨率的最新、最高效晶片处理模型的公司的完美解决方桉。
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