二手 NIKON NSR 1755 G7A #9138127 待售

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NIKON NSR 1755 G7A
已售出
ID: 9138127
晶圆大小: 6"
Stepper, 6".
NIKON NSR 1755 G7A晶片步进器是一种先进的光刻工具,设计用于在高度敏感的半导体晶片上生产功能小至7纳米的集成电路。NIKON NSR-1755G7A支持无菌和非无菌处理,除了一系列其他批处理功能外,还可以完全控制晶圆过程。NSR-1755 G7A具有高速晶片步进、光学停止、大视野、执行器控制和晶片涂层等功能。其先进的光学器件被设计用来提供对不透明和透明材料的统一聚焦,并为各种尺寸和形状的半导体晶片提供精确的对准。先进的焦点控制和对齐确保了始终如一的高质量结果。NSR 1755 G7A还具有高精度消磁镜头,即使在较小的特征尺寸下也能减少成像失真并最大程度地减少像差。其精密电机和精密定位控制器精确定位晶片,确保精确结果。随附的自动对焦功能可提供进一步的保护,防止由于对焦不良而造成的特征变异性。NIKON NSR-1755 G7A可容纳标准加工的12英寸晶片和大型基材的15英寸晶片。此外,它还提供高分辨率可变视图(FOV)和广泛的曝光设置,使用户能够为其产品和工艺选择最佳设置。晶片步进器提供两级成像,可实现高通量,同时具有广角(WA)和窄角(NA)选项,可实现最佳成像。除了先进的功能外,NSR-1755G7A还拥有可靠、环保、低能耗和低噪音的操作。可选的喷射功能可应用空气辅助的曝光前清洗和工艺后清洗。NIKON NSR 1755 G7A还采用了先进的安全功能以确保安全操作。NIKON NSR-1755G7A是一种强大的光刻工具,专为高精度、高效率的晶圆处理而设计。NIKON晶片步进器结合先进的光学元件、精确的电机和精确的聚焦控制,可以在各种尺寸和形状的晶片上始终如一地生产高质量、高分辨率的集成电路。
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