二手 NIKON NSR 2005 i10C #9096007 待售

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ID: 9096007
晶圆大小: 8"
优质的: 1994
I-Line stepper, 8" Reticle microscope : Fixed HP LASER : 5517B LSA LASER : 5mW ITV Camera : Nikon original type OF Detection type : Nikon original type Wafer loader type : A1 Wafer carrier table : Left Reticle size : 6inch FIA PD Extension LIB Rack type : Left 1994 vintage.
NIKON NSR 2005 i10C是为精密光刻应用而设计的最先进的晶圆步进器。这种步进器利用先进的光学、尖端的软件和先进的对准技术,为半导体行业产生高性能的结果。NIKON NSR i10C配备了NIKON Advanced Lens Equipment (ALS)。该系统采用了高性能镜头,并提高了分辨率和图像质量。ALS还提供了改进的光传输、更好的均匀性和对比度以及更快的响应时间。此外,ALS还具有低像差、优化的磁场曲率、低振动和自动对准等特点。NIKON NSR i10C具有一个高端晶圆对准单元,可以精确测量晶圆偏斜并提供对像差的精确校正。这台机器确保了出色的图样放置,并最大限度地减少了偏心定位。NIKON光学变焦对准器为操作员提供精确的拍摄到拍摄迭加,进一步提升了NIKON NSR i10C的性能。NIKON NSR i10C还提供高级图像软件,包括e-Stepper模块,该模块提供掩码、基板和CR工具数据的完全集成。E-Stepper模块是为实现最佳精度、速度和吞吐量而设计的,它为处理模式数据提供了强大的图形界面。此外,NIKON NSR i10C还配备了高级流程监控功能。"增强流程窗口"可实时监控对齐和曝光流程性能,从而使用户能够快速响应流程变更。此功能还允许在开发和生产过程控制过程中优化控制参数。NIKON NSR i10C提供了能够充分优化光掩模过程并确保最高模式放置精度和图像质量的功能。NIKON NSR i10C从其具有高级对齐器的高精度光学资产到其强大的图像软件和过程监控功能,是用于精确光刻应用的强大而可靠的解决方桉。
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