二手 NIKON NSR 204B #9137591 待售

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NIKON NSR 204B
已售出
製造商
NIKON
模型
NSR 204B
ID: 9137591
Scanners.
NIKON NSR 204B是用于半导体生产成像晶片的先进晶片步进器。它作为一个步骤和重复设备运行,能够在一次曝光中将晶片上的图样从标线转移到光致抗蚀剂。NIKON NSR-204B具有提高产量和驱动效率的几个设计优势,适用于设备原型设计和生产应用。该系统使用CCD线路传感器作为图像检测器,能够实现亚微米放置精度。这使得它适用于高密度逻辑和内存设备应用,在那里需要精确定位。该机还具有广泛的聚焦深度,可实现理想的图像覆盖。它具有较高的光学带宽以最小化放置误差,以及一个活动的对准单元,确保了光路的优化。NSR 204还配备了NIKON主动控制浸入(ACI)机,自动优化镜头浸入参数,提高分辨率和对焦深度。这样可以确保图像保持对焦状态,即使图像是通过对齐的晶圆拍摄的。NSR 204B拥有包括APC机制的自动晶片处理工具,可根据晶片的大小和形状自动设置对齐标记。此外,它还可以实现晶片对晶片的性能,而无需任何手动对准,因此适合大容量半导体生产。此外,NSR-204B还配备了综合工艺监测工具,可以检测抗蚀性厚度和温度的变化,以及晶圆下垂和振动。这样可以确保在生产前检测到任何有故障的晶片,以避免昂贵的返工或浪费。总体而言,NIKON NSR 204B是一种高度先进且可靠的晶圆步进器,适合各种大批量生产应用。其精确校准的光学器件、自动对准和处理以及集成的过程监控,使其成为生产先进微电子器件的理想之选。
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