二手 ULTRATECH 1500 MVS #9097721 待售

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ULTRATECH 1500 MVS
已售出
ID: 9097721
Stepper.
ULTRATECH 1500 MVS晶圆步进器是一种先进的下一代解决方桉,用于先进的半硬体制造。1500 MVS利用获得专利的可变狭缝扫描过程,称为MVS(多路查看系统)技术,能够提供可用晶圆步进器中最高的吞吐量。ULTRATECH 1500 MVS利用其MVS技术在一次曝光中对整个晶圆成像,同时精简成像过程。通过将晶片曝光分成四个独立的狭缝设计,该过程减少了光学错位,消除了图像缝合问题,并大幅减少了整个图像失真。MVS还利用基板载波运动和角度狭缝扫描,这为任何晶圆步进器提供了最高的精度和速度。1500 MVS晶圆步进器还配备了用于简单和复杂设备几何形状的自动晶圆映射系统,以及每个设备站点不断变化的对齐标记阵列。此功能可确保实现准确的结果,同时保持对设备对齐的全面控制。ULTRATECH 1500 MVS还具有内置的高精度框架抓取器,可方便地观察和分析图像。这意味着,如有必要,可以立即采取纠正措施,快速解决与成像过程的任何差异。1500 MVS是一种极其用户友好的晶圆步进器,它真正结合了半导体晶圆加工的所有最新进展。它具有创新的设计功能,可提供最高的吞吐量,同时仍能保持准确性和精确度。利用其内置的帧抓取器,用户可以在获取图像时进行观察和分析。这进一步增强了ULTRATECH 1500 MVS已经可靠的性能。
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