二手 ACU-GAGE AG24-2-LM2 #9138502 待售

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ID: 9138502
Systems.
ACU-GAGE AG24-2-LM2是一种先进的综合测试和计量设备。它设计用于各类晶片的精确测量,范围从标准晶片到微电子制造中使用的专用硅片。该系统采用自动右上显微镜、精密工具和24点测量单元。它能够测量各种参数,例如曲面形状、深度和厚度。AG24-2-LM2配备24英寸光学显微镜,可在0.5微米内测量精度。这台机器使用自动机器人工具来测量晶片的缺陷或缺陷。该工具由CCD相机、聚焦环、显微镜物镜和光源四个主要工具组成。CCD相机使视野宽广,而对焦环则用于改变显微镜的焦平面。显微镜物镜允许一系列的放大选项,而照明源是用来提供高对比度的图像相机。该模型还采用了24点测量设备来测量不同的晶圆。这种24点测量系统使用四个接触探针臂与晶圆表面进行接触。四个接触探针臂同时测量晶片上的24个不同点,提供晶片表面的精确和详细的轮廓。该单元还包括集成软件,允许实时数据分析和记录每个探测器的定位到0.5微米范围内的精度。ACU-GAGE AG24-2-LM2配备了两个精密操纵器,用于操纵晶圆。机械手的精确度为300 nm,能够进行各种运动和角度调整以进行精确测量。该机还配备了高度先进的压力工具。这种压力资产可以调整探针的压力,以测量晶圆的厚度、表面纹理或其他属性。AG24-2-LM2是一种用于测量复杂晶圆几何的高级测试和计量模型。这种设备有几个集成的组件,非常适合测量范围广泛的晶圆非常详细。集成软件、精密工装、24点测量系统、可调压力单元,使本机成为精确晶圆测试和计量的理想之选。
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