二手 ADE / KLA / TENCOR 575 #9132534 待售

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ADE / KLA / TENCOR 575
已售出
ID: 9132534
优质的: 2005
Nitrogen cabinet system 2005 vintage.
ADE/KLA/TENCOR 575是一种高性能晶圆测试和计量设备,设计用于半导体晶圆的检查和控制。该系统能够测量直径不超过5.75英寸的半导体晶片的电气、光学和物理特性。ADE 575单元包括一台先进的光学检测机,使用电荷耦合器件(CCD)扫描晶圆表面。CCD传感器可准确检查晶片的顶部和底部表面,检测形状和尺寸以及其他特征(如缺陷)。光学工具也用于测量晶圆的反射率和横向孔径。KLA 575资产包括测量电阻、电流泄漏、电容和电压击穿等电气特性的电气测试站。该测试站还提供快速、自动化的好坏模具分选。该模型集成了一个电气探测站,可用于电流和电阻测试的单个模具的探测。575设备还包括一个计量站,用于测量关口长度、沟槽深度和隔离距离等关键尺寸。高精度激光干涉测量法用于测量精确的3-D形状。此外,TENCOR 575系统包括一个独特的"研究集"特征,它允许进行复杂的过程研究。这一特性使得晶片批次的完整表征与程序代码的相关性以及系统因素的精确分析成为可能。此功能还通过高级数据分析功能支持数据审查和分析。ADE/KLA/TENCOR 575单元还提供了用于控制、测试排序和数据分析的全套软件。此软件的设计便于操作和与其他串联流程集成。软件还确保自动存储所有收集的数据并随时可供查看。总体而言,ADE 575是一款高性能晶圆测试和计量机,专为高级工艺控制和监控而设计。该工具允许灵活和精确地测量半导体晶片的电气、光学和物理特性。此外,还通过高级软件和数据分析功能提供数据审查和分析,以确保高效可靠的操作。
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