二手 ADE / KLA / TENCOR 6033T #9194726 待售

ADE/KLA/TENCOR 6033T是一种综合性晶圆测试和计量设备,能够对晶圆进行全面的电气、光学和尺寸测量。该系统利用软件和硬件的结合技术，为晶圆的无损检测提供先进的解决方桉。ADE 6033T单元是在等离子体裸晶片步进器（PBWS）平台的基础上构建的，该平台是为加工晶片而设计的自动化设备。本机提供晶圆映射、电气缺陷分析、光学缺陷检测、尺寸计量等各种先进功能。它可以探测和测量到纳米尺度的微小特征。KLA 6033T配备了多个段,包括用于晶圆放置的步进扫描仪/处理程序、负载端口工具和自动晶圆识别资产。步进器启动晶片的扫描过程,按照软件的指示,随时将其物理放置在计量表上。负载端口模型负责将晶片从其存储区传输到探针表并返回。最后,自动晶片识别设备可以快速处理晶片的传入分发盒式磁带（DCs）,从而实现快速高效的工作流程。TENCOR 6033T还包括两个光学显微镜单元，放大倍率从20倍到1000倍不等，能够成像~纳米分辨率的缺陷。此外，系统还包括各种能够快速评估载波移动性、介电常数、开路短路测试、电阻、个体模具电容等电性能的自动化测试站。为了进行分析控制,该单元采用了一系列SoftGUIDES,这是一个软件平台,具有强大的高级功能,如自动模具/分区选择、跟踪的轨道跳跃测量以及可视化和放置的摄像头。6033T晶片测试和计量机作为一个完整的封装，对各种尺寸的晶片进行全面的电气、光学和尺寸测量。它对晶圆表面的通孔、沟槽、颠簸、通孔和其他元素进行高效扫描，并以纳米精度进行扫描，其自动化测试站为验证重要的电气参数提供了最佳解决方桉。该工具能够为高可靠性设备的生产提供快速、准确的结果。