二手 ADE / KLA / TENCOR 9500 #9176508 待售

ADE/KLA/TENCOR 9500是一种晶圆测试和计量设备，设计用于测试半导体晶圆的缺陷和其他特性。该系统采用光学、电气和激光技术的先进组合来测量广泛的特征，包括晶圆表面地形、均匀性和临界尺寸。它由大型机、光学、光源和计算机控制器组成。光学元件包括透镜、镜子、扫描单元、探测器单元和电动POS级。主机还包括激光、显微镜、扫描仪和激光电源。机器能够通过光学显微镜过程检测晶片上的微观缺陷。利用光学成像技术对晶片表面进行检测。CCD相机用于捕获晶片的图像，然后由内置图像处理器进行处理和分析。该工具能够通过内置电子束感应元件（EBICs）测试晶片的电性能。这些EBIC用于分析晶片材料的电导率，测量器件的阈值电压和增益等特性。它还能够高精度地测量晶片表面的功率特性。此外，资产还支持广泛的计量能力。这些功能包括选择性区域光刻、自动特征识别、沉积厚度测量和迭加对齐。它还能够通过晶体模式识别和差分图像分析的算法来测量晶片的晶体结构。大型机还包括用于可靠和自动测量关键尺寸以及用于数据收集、分析、存储和处理的软件工具。ADE 9500是一种高度可靠和精确的晶圆测试和计量模型。它为监测半导体晶片的性能和质量保证提供了有效的解决方桉。它具有先进的特点，可以为晶圆的制造和设计提供准确可靠的结果。