二手 ADE / KLA / TENCOR 9500 #9181679 待售

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ADE / KLA / TENCOR 9500
已售出
ID: 9181679
Wafer flatness measuring system Single cassette with ASC controller.
ADE/KLA/TENCOR 9500是一种先进的晶圆测试和计量设备,旨在方便生产高性能集成电路、MEMS和其他先进技术设备。该系统结合了先进技术和易于使用的图形用户界面。ADE 9500的尖端光学计量单元以前所未有的0.1纳米分辨率测量集成电路和MEMS器件的临界尺寸(CD)。该机利用共聚焦显微镜和散射法精确检测到纳米级的特征大小和形状。该工具还提供了一整套用于缺陷和故障分析的高级成像工具,例如线剖析、迭加测量和对比度增强。KLA 9500强大的测量资产能够提供复合电气测量,如电容、电阻和泄漏电流。该模型还为晶圆的表征和优化提供了快速、精确的晶圆映射和平坦度测量。9500的集成热控制确保了准确的测量不受温度变化的影响。TENCOR 9500的缺陷和故障分析设备为缺陷和故障分析提供了直观的工作流程。该系统可以精确检测微粒、地形特征以及小至1纳米的外来污染物。该设备还可以快速对受污染的晶片成像,以快速识别处理错误的IC或MEMS结构。最后,ADE/KLA/TENCOR 9500的无与伦比的易用性和全面的分析和测量工具集使其成为研究和生产晶圆测试和计量的宝贵工具。其直观的用户界面和全面的教程和演示集有助于最大限度地减少学习曲线并最大限度地提高工作效率。ADE 9500对任何半导体制造商来说都是非常有价值的。
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