二手 ADE / KLA / TENCOR 9500 #9186108 待售

ADE/KLA/TENCOR 9500是着名的晶圆测试和计量设备,旨在提供准确可靠的晶圆表征和计量数据。该系统引入了全面的平面晶圆测量，并辅之以先进的表面计量能力。该单元由一个主扫描单元和几个与之相连的附加单元组成。主要单元是一个扫描单元,其中包括一个精密的电动级,它使晶片在传感器之间移动,而Z级则根据晶片的几何形状修改电子束机器的焦点。光学单元使用户能够以各种放大倍数获取图像。主扫描单元也有测量晶片平面表面的电容传感器。这些传感器灵敏度高、精度高。此外,该工具还具有其他几个增强其功能的组件。椭圆偏光计测量折射率或消光系数等不同的光学特性。自动晶圆映射资产用于扫描wAFM（原子力显微镜），以便获得对表面的详细地形概述。模型的内置软件提供了直观易用的图形用户界面来访问设备的软件。该软件提供强大的数据处理功能来执行参数测量和分析。软件可以生成各种类型的报告，从统计数据到图形演示。该系统可以从任何PC运行,使用Windows操作单元,从而提供灵活性。ADE 9500机极为精密多用途。其施工选择确保了快速、方便的测量和准确的结果。其广泛的能力和精确度使得它成为任何需要先进计量的实验室的绝佳选择。使用这种工具，操作员可以很容易地表征任何类型的晶圆表面具有卓越的精度和精确度。