二手 ADE / KLA / TENCOR 9700 #9184638 待售

ADE/KLA/TENCOR 9700是一种高速多通道晶圆测试和计量设备。它提供了多种测试晶圆几何和曲面特征的功能。ADE 9700能够对晶片进行快速的在线测量,并包含各种光学、电气和机械子系统来完成这些测试。KLA 9700系统的核心是其强大而通用的功率和计量电子设备。它包括一台高功率输出发电机,最多可同时提供三个电源,每个通道最多可提供250W个电源。另外还集成了高增益12位A/D转换器,带宽高达300 MHz。它与8位D/A转换器和Peltier冷却单元结合使用。有了这个设备，机器可以作为一个独立的测试站，也可以与外部设备接口，来执行更高级的机器人任务。TENCOR 9700还包括一个高度精确的纳米步进工具，用于x、y和z轴运动的精确控制。它的4轴纳米步进资产利用线性电动机，这允许更快的响应时间和更高的精度。这使得模型能够以微米级分辨率精确测量晶片的几何特征。9700设备还配备了自动光学显微镜。这个800万像素的相机能够检测晶圆表面的特征，精度高达0.5微米。它可以用于表面测量和地形分析，并能够快速的表面特征检查。此外,ADE/KLA/TENCOR 9700还包括一套集成的软件模块,可以进行全面的测量和分析。软件允许系统以无与伦比的精度测量平坦度、粗糙度、深度和电阻率。它还提供实时反馈,使用户能够及时做出决策。它还能够分析参数化图像，包括地形、彩色图像、FD-LIBS光谱和原子力显微图。ADE 9700是用于晶圆测试和计量的强大而高效的单元。它的高速和多渠道功能,加上一系列创新和精确的模块,能够快速精确地测量晶圆几何形状和表面特征。