二手 ADE / KLA / TENCOR UltraGage 9520 #9182330 待售

ADE/KLA/TENCOR UltraGage 9520晶圆测试和计量设备是半导体器件制造和测试的一流解决方桉。它具有一整套高级计量功能,允许用户在制造过程中准确测量和监控其基材和晶片的质量。ADE UltraGage 9520提供同类系统中最高的分辨率和可重复性。KLA UltraGage 9520利用3 D激光干涉测量法实时测量每晶圆多达10,000个特性。该单元能够在整个晶圆上以± 5 µm的晶圆定位精度进行非接触表面扫描。测量数据被捕获并存储在数据库中，使用户能够分析结果并根据需要调整其流程，以确保高质量的结果。TENCOR UltraGage 9520还能够并行控制多个过程以优化测试过程。例如，它可以配置为精确控制过程的压力和温度，并且可以检测和调整均匀性、厚度、晶圆边缘对准等特定特征的参数。该机包括用户可定义的测试协议、自校准，并且可以测量广泛的基材，包括晶体和非晶体硅、氮化​​氙和碳化硅。此外,UltraGage 9520还配备了多种先进的光学组件,包括部分晶圆成像工具,可实现更高分辨率的测量和更准确地确定基板缺陷。该资产还包括一个高速USB光学接口,每秒可传输高达10兆位的数据。此功能显着减少了查看测量和调整处理参数所需的时间。ADE/KLA/TENCOR UltraGage 9520提供世界级的准确性和可重复性,使制造商能够比以往更准确地识别和表征基板特性。这种优越的精度使用户能够提高其基材的质量并提高其产量。此外,该模型能够快速高效地处理大量晶片,而其先进的人体工程学设计即使在较长的测试周期内也能确保用户的舒适性和易用性。