二手 ADE / KLA / TENCOR Ultragage 9500 #9182331 待售

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ADE / KLA / TENCOR Ultragage 9500
已售出
ID: 9182331
Wafer measurement system Includes: UltraGage 9500, per ADE specification ASC Controller Single autoloader.
ADE/KLA/TENCOR Ultragage 9500是设计用于半导体制造的综合性晶圆测试和计量设备。它能够测试和测量厚度达0.5mm的薄膜,由两个成像系统组成,并可以通过高精度3D非接触扫描收集数据。它以能够以最高精度和分辨率对光泽或反射表面成像而闻名。该系统可进行广泛的测试,包括电气表征、电气缺陷分析和缺陷跟踪,也可用于识别晶圆中存在的污染。ADE Ultragage 9500有一个全自动光学单元,具有电动聚焦,步进电机用于X、Y和Z移动,以及图形用户界面(GUI),为用户提供晶圆的交互式视图和正在进行的测量。它可以测量分辨率为1纳米的高分辨率薄膜厚度,可以精确测量1.4微米线的微边缺陷,可重复精度。此外,它还可以获得用于扫描和非扫描测量的全场测量结果,从而可以对晶圆进行深入表征。KLA Ultragage 9500还具有全自动3D地形功能,可用于测量尺寸低至100纳米的高架特征。它配备了自动化缺陷检测和分析工具,允许检查孤立的单点缺陷和对齐模式。此外,它还具有半自动图像分析(SMIA)功能,可用于识别关键树突、寄生侧向过度生长和其他缺陷,为用户提供晶圆特性的最深入检测和分析。此外,Ultragage 9500还可以配置为内联生产和机器研发应用程序,从而提供高级的在职诊断和过程功能。它是实现全面晶圆测试和测量的经济高效的方法,因此适用于许多先进的半导体工艺。
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