二手 KLA / TENCOR AIT 1 #151017 待售

KLA/TENCOR AIT 1是一种晶圆测试和计量设备,使半导体公司能够通过测试、检查和表征其在一系列关键电气和光学参数上的工艺步骤来确保产品质量。该系统旨在满足大批量生产环境,并支持当今最先进的晶圆基板上2至32微米的功能尺寸。该单元将晶圆测试、计量和缺陷审查功能集成到一个平台中,从而实现快速、可重复和可靠的性能。它具有独立于高速应用程序的非接触式3 D计量和缺陷分析、快速扫描激光束分析以及模对数据库晶片测试功能。KLA AIT 1的高分辨率计量法有助于准确检测包括小丘、锁孔、薄片和孔在内的缺陷,以及测量模具表面的临界尺寸相关参数。集成扫描激光束分析可执行实时3D形状测量,并有助于识别模具中可能对设备性能产生严重影响的异常形状因素。它还有助于识别在晶圆排序和装配之前可以检测到的参数化缺陷,如制造前的栅极短、BTI和其他与应力相关的缺陷。高优势的模对数据库测试解决方桉精确地对包括闪存、控制器内存和RF IC在内的各种产品进行测试。它提供了一个缺陷数据库解决方桉,可以将设备性能详细信息捕获为后处理作业。此集成解决方桉提供了一个数据库,用于存储特定的测试相关参数、分析缺陷趋势以及将数据轻松插入软件数据库。TENCOR AIT1机器提供了一个结合高分辨率计量、缺陷分析和晶圆测试能力的多功能测试平台。晶圆测试和计量工具通过优化半导体器件的质量，有助于提高产品产量，减少工艺变化。对于那些寻求自动、可重复和可靠的质量控制和低故障率解决方桉的人来说,它是理想的资产。