二手 AKRION AWP #9192021 待售

AKRION AWP
製造商
AKRION
模型
AWP
ID: 9192021
Wet process system.
AKRION AWP湿式站是一种创新的湿式加工工具,设计用于将晶圆级加工集成到现有的光刻系统中。该站在高度自动化、紧凑和集成的平台上提供先进的清洁、抵抗开发、蚀刻、剥离和沉积工艺能力。它是那些需要可靠和可重复的纳米级处理的理想解决方桉。AWP湿站可以定制以满足特定的流程需求,并且可以定制以包含定制的组件以满足定制流程需求。该站基于带基体的概念,其中安装了精确的工艺模块,以实现模块化和自主操作。它提供了广泛的可配置组件,包括:化学浴控制器、纺纱工艺、喷涂系统、高通量模块、光学检查和数据采集。AKRION AWP wet station features a advanced automation platform with a pressive robot control process module manifulation system.此模块旨在优化周期时间,并提供所有组件之间的无缝通信。它还具有高级软件界面和流程监控功能,可提供直观的用户体验。AWP湿式站是为最高精度和控制而设计的,具有纳米级精度的卓越工艺性能。该工作站能够使用多个晶片同时运行进程,从而实现快速周转时间。此外,该站还包括晶片与晶片对准和样品移动的自动化过程。AKRION AWP湿式工作站的设计旨在提高过程吞吐量、最大限度地减少可变性和自动化过程以实现高效制造。它也是长期可靠性和维护的理想选择,可保护加工工具免受灰尘和损坏。此外,该站还提供了与洁净室兼容的设计,具有优异的颗粒和污染预防能力。AWP湿式站提供了一种高度自动化、经济高效且可靠的湿式处理解决方桉,可满足大容量半导体制造需求。这是一个完整的交钥匙系统,用户希望把他们的晶圆处理到一个新的水平。
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