二手 AKRION MP-2000 #9189727 待售

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AKRION MP-2000
已售出
製造商
AKRION
模型
MP-2000
ID: 9189727
Wet station.
AKRION MP-2000是一个用于半导体生产的水淹式湿式站,设计用于不同工艺模块之间的快速和容易的变化。它提供了一套功能,例如集成气体分配、可调节的刀具附件、高效的介质控制以及带有图形用户界面的直观控制,使其成为高级晶圆制造的极具吸引力的湿式工作站。MP-2000具有一个大型工具表,该工具表具有可调的连接点,允许使用各种清洁和蚀刻工具,这意味着在切换过程时您无需进行完整的刀具更换。这意味着更少的停机时间和更高的生产效率。综合气体分配设备和闭环介质输送系统的结合也有助于确保最高水平的过程稳定性和准确性。AKRION MP-2000还允许在配置流程方面有很大的灵活性。用户能够定制工艺流程和顺序,同时考虑到不同基材的需求和生产目标。此外,直观的控制单元还包含一个图形用户界面和设置向导,使用户可以轻松地充分利用湿站。MP-2000还采用了多种安全协议,使其非常适合洁净室环境,包括1级回收系统,该系统允许工艺流体的再循环,以及收集和处置废旧悬浮液。为进行预防性维护,AKRION MP-2000采用了一种自我诊断算法,可用于分析湿站的性能和诊断任何潜在问题。这有助于减少停机时间并确保湿站的长期可靠性。总体而言,MP-2000是一个用途广泛且可靠的湿式工作站,具有很高的工艺稳定性和灵活性。其直观的用户界面、集成的气体分配机、可调节的刀具附着以及自我诊断算法使其易于使用和维护,使其成为各种半导体生产需求的绝佳选择。
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