二手 DNS / DAINIPPON SU-3100 #9129361 待售

DNS/DAINIPPON SU-3100湿站是一个先进的DMA站，用于高性能纳米技术研究和电子设备设计。该站设有多层光刻设备和原子层沉积、反应性离子蚀刻、化学气相沉积、等离子体增强化学气相沉积、溅射等一系列先进工艺。它能够以高精度和高分辨率对金属、聚合物和电介质进行制图。该站采用激光直接成像（LDI）系统进行精确的掩模对准。该单元使用功率为6 W、强度高达50 mW/cm2的精密微焦二极管激光器投射出可精确对准所需图样的掩模。XY闭环电动机可实现高精度和高精度对准。LDI机可实现高达250纳米的分辨率，可容纳高达600 x 600毫米的一系列掩模尺寸。湿式测站还利用多层光刻工艺制造集成电路。其扫描电子束在基板表面实现了纳米尺度特征的图样化，精度高，分辨率高。这是通过先在基板上施加抗蚀剂掩模，然后激光直接将掩模成像到基板上来完成的。然后，该工具使用反应性离子蚀刻或化学气相沉积方法的组合，将图样从掩模转移到基板上。该站还包含几个能够保持工艺环境纯度的污染物清除系统。为了减少颗粒进入过程的机会，在加工前使用了一种不费力的液体循环除尘器和微水冷却器。该站有一个用于过滤和再循环湿法过程中使用的流体的内置资产，以及一个带0.2 µm过滤器的臭氧清除模型和冷冻再循环设备。这些系统有助于防止加工过的基板受到污染，提高设备的可靠性和寿命。DNS SU-3100 Wet Station是纳米加工和设备设计的先进站点。由于其高精度和分辨率、去除污染系统和多层光刻选项，它为研发提供了一个先进的平台。