二手 SVG 86 #9214252 待售

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SVG 86
已售出
製造商
SVG
模型
86
ID: 9214252
Double Coater/ Developer tracks.
SVG 86是用于微机加工装置制造的光刻设备。它是一种高性能的非接触式光刻系统,用于制造金属、塑料、硅基基板等多种材料的高精度、高纵横比特征。这一单元基于一种革命性的、获得专利的短波疫苗气源(SVG)技术,该技术保证了在基板表面以极高的精度进行均匀和可重现的覆盖。在86中,一种超冷的稀有气体在真空室中保持在定义的压力下,然后被一种短距离电阻脉冲照射,这种脉冲将底物特有的光硬化化合物释放到底物材料上。这些化合物在暴露于SVG 86的特殊光线图样时迅速硬化到基板上,在最复杂的图样中产生尖锐的特征、高长宽比和出色的底壁清晰度。86是一种多功能机器,可以在一个步骤中直接构成所需的结构,而不需要预掩蔽步骤。换句话说,该工具允许用户直接塑造基板表面的暴露,而无需在实际暴露之前进行任何额外的预处理。这样就可以在一个步骤中高速高效地生产精确的器件结构以及对原本复杂的特征进行高效的光刻。该资产广泛用于生产集成电路芯片、纳米间隙、机电开关、显示器、封装、MEMS设备以及其他相关技术,这些技术必须产生难以置信的精确结构才能按预期运行。由于SVG 86没有预掩蔽步骤,而且能够调整对基材的暴露能量,因此它为非接触式光刻工艺提供了最好的解决方桉。86是高精度器件制造的理想解决方桉,在成本、时间和精度方面都具有很大的优势。它确保了光刻步骤的最大可重复性,并以最高精度准确地产生所需的器件形状。SVG 86具有高质量、高效、可靠的性能,是任何高精度光刻应用的首选解决方桉。
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