二手 SVG 86 #9214253 待售

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SVG 86
已售出
製造商
SVG
模型
86
ID: 9214253
Coater/ Developers.
GCA Corp公司的SVG 86是一种在半导体器件的制造中使用光刻胶的设备。光致抗蚀剂是一种对光有反应的材料。在这个系统中,它与聚焦电子束结合使用来修改它,以便在底物上产生电路。86单元是一个三阶段的过程。第一阶段涉及利用电子束技术通过遮罩将基板暴露于光中。在这次曝光过程中,光刻胶中的材料被修改并创建图样。根据正在制造的设备,此模式的复杂性和大小可能会有所不同。在第二阶段,底物暴露于作为蚀刻剂的酸溶液中。这种蚀刻方法称为湿蚀刻。此步骤会移除暴露在光线下的材料,并在基板上建立所需的特徵。最后,基板被暴露在一个升空过程中,以清理额外的掩蔽材料,如显影剂残留物或不需要的副产品。最后一步将在基板上创建最终设计。总体而言,SVG 86是一种光刻机床,具有光刻特性,可产生高分辨率图像和电路图样。它还承诺提高可重复和准确设计的产量,因为它的高度自动化。此外,此工具的直观用户界面和操作资产易于使用。这使得该模型非常适合用于制造各种半导体器件。
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