二手 SVG 86 #9214254 待售

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SVG 86
已售出
製造商
SVG
模型
86
ID: 9214254
Single PBO Coater/ Developer.
SVG 86是设计用于数字光刻应用的光刻设备。它是一种基于多层敏感膜的高效负性光刻胶溶液,与光掩模结合使用,在半导体制造的硅片上产生图样。86光抗蚀剂系统由三个不同的组成部分组成:一个可想象的抗蚀层、一个可想象的粘合层和一个硬烘烤层。可像抗蚀层由聚酰亚胺丙烯酸薄膜组成,对不同波长的紫外线敏感。它包含一种对它所暴露的光的波长敏感的光活性化合物,这使得它可以根据在光掩模中创建的图样有选择地硬化或清除掉。该单元的第二个组成部分,即可想象的粘合层,是一个薄薄的金属层,它将抗蚀层与硅晶片的表面结合在一起,并确保适当对齐光刻中使用的图样。机器的第三个部件,即硬烘烤层,用于在光刻的曝光和处理步骤之后,加强可想象的抗蚀层。此层对于保留处理过程中创建的阵列也很重要。总体而言,SVG 86光刻工具是在数字光刻应用中创建图样的有效和可靠的解决方桉。它提供了高度的灵敏度、准确性和图像定义,并且可以用于各种不同的光刻应用。凭借其强大的组件和设计,它可以用于快速、高效的图样制作,并了解最新光刻技术的要求。
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