二手 BRUCE BDF-4 #72491 待售

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BRUCE BDF-4
已售出
製造商
BRUCE
模型
BDF-4
ID: 72491
晶圆大小: 6"
furnaces, 6".
BRUCE BDF-4是一种高性能扩散炉,用于对金属、陶瓷和玻璃的表面或体积进行精确控制的改变。它使用扩散技术来制造薄膜、扩散屏障、吸收器和其他组件。炉子由一个顶装柜组成,底部有一个反作用室。腔内有气体入口、气体出口和热电偶,用于测量腔内温度。该腔室的工作温度范围为670-1600 °C,可在水平和垂直方向操作。腔室位于一个陶瓷底座上,该底座位于立管上,外部边缘有导引脚。Riser卡可以使用手动曲柄上下移动,用于容纳不同尺寸的部件。在立管上可以放一个crucible支架、架子和crucible,架子可以根据不同的操作高度进行调整。BDF-4还配有真空系统,以便在需要时在室内创造真空环境。真空压力可以根据工艺的反应要求通过真空/压力调节器控制。该炉还具有高性能的气体控制系统,可以引入多种气体,而不会损失室内的真空。气体控制系统包括一个可调气体入口,内置温度控制,一个可调气体出口和一个可选的外部传感器,用于监测腔室中存在的确切气体量。BRUCE BDF-4还包括一个高温计时器,以确保需要精确持续时间的过程的准确和可重复的计时。此外,该炉还包括一个冷却风扇和一个风速计,用于精确控制室内发生的任何反应的冷却阶段。BDF-4是一种特殊的扩散炉,在制造薄膜、扩散屏障、吸收器和其他部件方面具有广泛的应用。该炉具有可调的气体入口、气体出口以及在不影响真空的情况下引入多种气体的能力,非常适合进行复杂而精确的扩散过程。
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