二手 BRUCE BDF-4 #9013994 待售

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BRUCE BDF-4
已售出
製造商
BRUCE
模型
BDF-4
ID: 9013994
晶圆大小: 5"
Furnace bank, 5" Tube1-Pyro Tube2-Pyro Tube3-Pyro Tube4-LTO Currently de-installed and stored in a dry area.
BRUCE BDF-4是一种高端扩散炉,加上其兼容的配件,为从事基板表面扩散的用户提供了一套独特的功能,包括退火和固态扩散。BDF-4设计用于最多支持六个加工区,每个区的最高温度为2,000 °C。扩散炉的三面室由不锈钢构成,具有优异的耐久性和耐热性。为有效控制温度设计了五过程管道歧管,为用户提供了每个区域的最佳温度均匀性。高压淬火阀设计用于快速冷却后扩散。为了确保可靠、可重复的结果,BRUCE BDF-4集成了高级控制系统和精密组件。内部电子封装包括PID温度控制器,数字控制器允许调整所有参数。该炉还具有高精度的吸热、放热和原位腔室,供用户监测腔室的大气压和氧气水平。在定制方面,BDF-4有许多独特的选项来满足各种研究需求。每个会议厅的设计目的是接受来自全球独立认证供应商的各种扩散消耗品。为了在处理过程中监视温度,用户可以从K型热电偶传感器以及温度记录器中进行选择,以便随时间推移跟踪温度概况。安全是任何实验室环境中的重中之重,BRUCE BDF-4为腔室和处理器提供了先进的安全保护。扩散炉为腔室配备了反向阀和低压关闭保护,以及过热和过流保护。此外,洁净室规格的颗粒物和气溶胶过滤器保持环境清洁和安全。BDF-4扩散炉及其辅助配件的用户将受益于先进的平台,以确保在基板表面扩散过程中可重复的结果。先进的控制系统、温度均匀性和专属选项的结合使得BRUCE BDF-4任何研究实验室的理想选择。
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