二手 BRUCE BDF-41 #69381 待售

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BRUCE BDF-41
已售出
製造商
BRUCE
模型
BDF-41
ID: 69381
晶圆大小: 6"
Horizontal diffusion furnace, 6" 7355 main controller 7680 boat loader controller 7640 Intempos temperature module Left hand load Atmospheric 4 tube furnace.
BRUCE BDF-41扩散炉及其附件是一种用于材料沉积和结晶的高温炉。炉子由密封外壳、感应加热器和其他必要部件组成。BDF-41的感应加热器利用电场产生热量,能够达到高达1450 °C的温度。该炉还包括一个由高氧化铝陶瓷部件组成的,可以牢固地容纳多达15平方厘米材料的熔架。在BRUCE BDF-41中使用的坩埚是一种特殊类型,底部平坦,允许整个材料的温度均匀。该炉由于其精确的温度控制和快速的坡道和冷却功能,常用于硅、​​的、以及半导体制造中使用的其他材料等多种材料。构成炉子的多个温度区可以独立调谐,从而实现完美的温度均匀性。该炉还具有自动配置文件控制器,用户可以设置自定义的温度配置文件,并在整个处理过程中保持一致。此外,BDF-41还包括一个煤气虹吸管和一个安全减压阀,以便为炉子提供一个氙气供应。此外,还包括一个监测系统,以便对压力和其他参数进行自动控制,从而进一步改进进程的统一性。BRUCE BDF-41还包括一整套附件,例如电子束枪的阳极护套,能够在密闭空间达到高达2000 °C的温度。本节还包括一个石英crucible以及其他不同工艺所必需的组件。总之,BDF-41扩散炉及其附件是一个综合系统,旨在以统一一致的方式提供各种材料的高温处理。它提供了更高的精度和高效的温度控制,因此使其成为满足半导体和其他材料加工需求的理想选择。
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