二手 KOKUSAI DD-1206V-DF Quixace #9023917 待售
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已售出
ID: 9023917
晶圆大小: 12"
优质的: 2007
High temperature batch anneal furnace, 12"
Free processing of FOUP is possible by 1 FOUP high-speed transfer
The FOUP Transfer part is equipped with Area Sensor for safety of system
Buffer 16 FOUP storage for 12" Wafer (18 FOUP option)
Full range pressure control from ATM to Low Pressure (option)
Fast temperature ramp up/down control (option)
Furnace port opens downwards
SiC wing boat with wafers inside is loaded into the reactor tube without touching the process tube
Equipped with a variable number of wafers transfer mechanism
CX series controllers made by Hitachi Kokusai are adopted in the system
Main operation control panel uses color LCD touch control panel
FOUP charge port of the system is equipped with LIGHT CURTAIN for safety
Restriction of operation regarding environment (heavy industrial areas)
12" single boat
Temperature monitoring by 5 outer T/C, 1 cascade T/C, 5 overtemp T/C
Gases (Horiba Stec):
30 slm Ar/4%H2 (MFC)
30 slm N2 (MFC)
30 slm O2 (MFC)
1 slm O2 (MFC)
0.5 slm HCl (MFC)
10 slm Ar (MFM)
Currently installed
2007 vintage.
KOKUSAI DD-1206V-DF Quixace是一种扩散炉，设计用于对各种材料进行快速热处理。它配备了一个专有的过程控制器，在快速热处理过程中提供高级功能。该炉可以加工多种材料，包括硅、铝、金属和塑料。它能够处理300 °C至1300 °C的温度，循环时间非常短，只有1秒。Quixace采用直接驱动机制,允许用户快速更改加热速率、温度范围和冷却速率。不锈钢腔室和保护氧化铝衬里可实现稳定可靠的加工。Quixace为适应多级加工而建造，可用于退火、活化、焊接、脱气、脱胶、上釉、浸渍等。该扩散炉采用人体工程学设计，组件布置紧凑，地板空间利用效率高。Quixace的双大气循环系统提供了卓越的均匀性和灵活性。它还设计了先进的绝缘材料，以尽量减少热损失，从而降低能耗。Quixace炉先进的安全特性保证了工艺的可靠性和性能，消除了与过度加工和事故相关的风险。DD-1206V-DF Quixace配备了多种配件,是满足各种热处理需求的理想选择。它可根据用户所需的工艺进行定制,并具有工具端口、用于样品持有者的石英管、可调流量以及最多可存储16种配方的功能。此外,Quixace可以与各种数据采集和控制系统（如基于PC的软件）连接,从而实现自动化过程控制和监控。总体而言，KOKUSAI DD-1206V-DF Quixace是一种可靠、高效、精确的扩散炉，专为各种高温加工需求而设计。Quixace具有坚固的构建质量、用户友好的设计以及广泛的功能和配件,是热处理应用的绝佳选择。
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